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超纯水设备是由多台水处理设备按工艺设计组合而成。最典型的工艺为：预处理+双级反渗透+EDI和双级反渗透+混合床工艺。高纯水设备广泛用于半导体、电子、精细化工、电厂、医药等行业。水处理工艺主要由预处理、反渗透、EDI或混合床、后级精处理几部分组成，根据不同水质要求，采用不同工艺，终端产水电阻率可达到15~18MΩ.CM以上。典型工艺流程为：
预处理系统－反渗透系统－中间水箱－粗混合床－精混合床－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－抛光混床－精密过滤器－用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)
预处理－反渗透－中间水箱－第二级反渗透-纯水箱-纯水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－抛光混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥18MΩ.CM）(最新工艺)
预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透－纯水箱－纯水泵－EDI装置－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥17MΩ.CM）(最新工艺)
预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象（≥15MΩ.CM）(最新工艺)
预处理系统－反渗透系统－中间水箱－纯水泵－粗混合床－精混合床－紫外线杀菌器－精密过滤器－用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)
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超纯水设备