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第一代：旋笛类声波清灰器:
旋笛类清灰器是利用一个旋转的阀门作为气流喷口的开关，反复开闭，使喷出的气流断续而成为声波。 旋笛类清灰器的优点是发声机制简单，能够通过调 整电机转速而很方便地改变声波频率。
缺点为是:
l、发声原理为气流的半波调制，因而从机制上限制 了声强、功率和清灰效果的提高。
2、转子和定子的间隙配合要求高，容易磨损和被灰粒卡住而损毁电机。
3、声阻抗较高，必须要安装一个长而粗的喇叭形阻抗变换器，在炉墙开孔很大并占用很大空间。
4、耗气量较大。
第二代：膜片类声波清灰器:
膜片类声波清灰器是利用膜片的振动发出声波，其优点是耗气量少，没有旋转运动机构。缺点是振动片易疲劳破损，即使采用高性能材质的膜片也不能避免疲劳极限问题。需要经常加油和使油雾化，不能做到免维护。即使更换备用膜片，也很难恢复正长常工作状态。
第三代：共振腔类免维护声波清灰器:
正是由于前两代声波清灰器的缺点严重影响企业用户的运行，于是促使了共振腔类声波清灰器专利的产生和发展。它的原理是以气流在特定的几何空腔内振荡，激发空腔内气体的强烈振荡而发出高强声波。
它的特点有:
1、它的发声效率高、功率犬、清灰功能和效果好。
2、它没有机械运动机构，也没有易磨损部件，维护极为简单，甚至是免于维护。
3、安装很方便，可以使用于任何锅炉、任何部位的任何现场条件。
4、炉墙开孔尺寸选择范围较宽，炉墙内外所占空间都很小，不影响其它检修作业。
5、避开了锅炉构件的本征频率，避免诱发管束等振动，对主设备有益无害。
6、安全可靠，满足人身安全和工业卫生劳动保护条例。
7、耐磨损、耐腐蚀、抗老化、使用寿命长。
8、耗气量小，动力消耗小。
9、采用声波清灰程序控制器，可自成单元，也可接入DCS系统，实现全自动化。
第四代：高效能、大功率、宽频带、免维护型声波清灰器:
在前述共振腔免维护型声波清灰器的推广使用后，近几年的研究和实践又取得了巨大的突破和飞跃:
声波清灰器种类