UV阻绝材料之阻绝效果优异,对于波长450nm以下光线之阻隔率可达99.9%以上;并经QUV测试,其耐温、耐候性良好,使用期限长。
本产品广泛应用于光学蚀刻制程或制程中需隔绝UV之产业如PCB业,半导体业,电子业等。避免不当光线泄漏造成产品品质不良,以达到阻隔紫外光及短波长可见光之效果。
主要规格:50UM*1.52M*30M
黄光室是进行IC晶片微影成像术的区域,将光阻材料利用旋镀法被覆在晶园上,而后再放置于曝光机下进行曝光,以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像,最后再以药剂进行显影而得到实际图像。
早期曝光机的光源为全光谱光源,后演进到G-LINE(436 mm)光源,目前最为广泛使用的为I-LINE(436mm)光源,对于0.3ūm线宽以下的IC制程,则需采用深紫外线(deep UV)248mm光源,甚至X光或电子束,目前光源较采用高压水银(汞)弧灯,由于其特性频谱,所以须经过滤光片以获得所需的I-LINE(365mm)光线。
为了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光,所以整个作业必须在黄光室下进行,换言之,所有照明用的光源须加以过滤,照明灯底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤波长380mm紫外光的能力。但必须注意的一点,有些黄色透明板虽然具有黄光,但对于紫外光却未完全隔绝,严格来说,这是不合格的产品。因为常被用于黄光室的5mm 黄色压克力板,在I-LINE(365mm)附近确有不少的穿透率。
宽1.52米
UV阻绝材料之阻绝效果优异,对于波长450nm以下光线之阻隔率可达99.9%以上;并经QUV测试,其耐温、耐候性良好,使用期限长。
本产品广泛应用于光学蚀刻制程或制程中需隔绝UV之产业如PCB业,半导体业,电子业等。避免不当光线泄漏造成产品品质不良,以达到阻隔紫外光及短波长可见光之效果。
主要规格:50UM*1.52M*30M
黄光室是进行IC晶片微影成像术的区域,将光阻材料利用旋镀法被覆在晶园上,而后再放置于曝光机下进行曝光,以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像,最后再以药剂进行显影而得到实际图像。
早期曝光机的光源为全光谱光源,后演进到G-LINE(436 mm)光源,目前最为广泛使用的为I-LINE(436mm)光源,对于0.3ūm线宽以下的IC制程,则需采用深紫外线(deep UV)248mm光源,甚至X光或电子束,目前光源较采用高压水银(汞)弧灯,由于其特性频谱,所以须经过滤光片以获得所需的I-LINE(365mm)光线。
为了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光,所以整个作业必须在黄光室下进行,换言之,所有照明用的光源须加以过滤,照明灯底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤波长380mm紫外光的能力。但必须注意的一点,有些黄色透明板虽然具有黄光,但对于紫外光却未完全隔绝,严格来说,这是不合格的产品。因为常被用于黄光室的5mm 黄色压克力板,在I-LINE(365mm)附近确有不少的穿透率。
用途:
阻隔紫外线:保护身体健康,防止家具褪色;
防眩光:阻挡太阳刺目的眩光,防止光污染,保护视力;
防爆防震:减少意外伤害,构筑“隐形防盗网”保护私人财产;
隔热保温:调节室内温度,从此告别空调“烧钱”的困扰;
装饰美观:美化建筑物的整体外观效果,改善室内环境;