上海中科电气（集团）有限公司

 用途：半导体材料在我国是一种新型工业，它的生产过程控制严格，要求很高的安全性。本公司开发的ETCH、CVD系列，一方面能满足本国生产要求，同时可以提供安全出口之需要。

                                                                                                                           特点：      ◆ 本装置采用元件需经过UL认证或国内外相应认证机构的认证。

                ◆打开柜门、用手触摸不到元件带电部分，已有接线全部用聚碳酸板隔离绝缘。

                ◆需测量的点位、设有专用测量点。

                ◆各种配电柜和配电箱均有紧急停止按钮（EMO）确保人身安全和设备保护。

型号规格：◆ 交流电源配电柜（AC RACK 2.0）

                ◆交流配电箱（AC Box）

                ◆系统控制柜（controller Box）

                ◆直流配电箱（DC Box）

技术参数：额定电压：208V

                额定频率：50HZ

                额定电流：400A

                直流电源：DC V